納米型顯微CT柱狀測試圖樣模體（MicroCT Bar Pattern NANO Phantom），內含兩個3 x 3 mm² 硅質芯片，分別水平和垂直安裝，通過塑料支架固定在模體的中心位置。雙硅芯片上均呈現數組線狀或點狀圖樣，線寬和點直徑從1µm到15µm不等，結構的深度在5和15µm 之間變化。用戶僅通過一次曝光和測量，就可以對整個芯片的中心以及外圍的分辨率做出評估。通過最直接、可見的方式評估3D高分辨率顯微CT(Micro-CT)系統的平面及軸向空間分辨率。
產品參數
產地：德國
品名：MicroCT-Barpattern-NANO
模體參數直徑：5.2mm
高度：19.1mm
材料：致密塑料
模體尺寸圖
直徑：2.96mm
高度：0.66mm
材料：硅
芯片結構：1-15µm
結構深度：5-15µm
對比材料 ：硅/空氣
芯片擺放示意圖
芯片尺寸示意圖
芯片上的線型和點型
芯片上的線寬/點寬與線對數量的對應
1 至 15 µm 結構的圖案
顯微 CT 掃描（3.5 µm 體素大小）
芯片結構劃分
芯片結構分布
線性/點形分布
芯片結構描述
部分1結構
部分1結構圖
部分2結構
部分2結構圖
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